纳米压印与晶圆级光学

行业笔记

用于压印微纳光学的高折射率与低折射率UV树脂和涂层。按您的模具、基底与固化条件配方,可用于晶圆、平板或卷材。

n 1.16 – 2.00折射率平台,涂敷层
n 1.34 – 1.79压印验证树脂;1.95以内等级可用于评估
+7.2 %短路电流,同行评审(2014)
自2006年起在欧盟配方与生产

为何看折射率

压印光学中,折射率就是设计变量

压印透镜、光栅或柱状结构的性能受限于其折射率对比。更高的树脂折射率缩短焦距、拓宽波导视场、让衍射结构在更小高度内完成更多工作。相邻的低折射率层以包覆层、缝隙填充或减反的形式把对比度还回来。多数压印线认证一款树脂,就与其折射率共存。Kriya的做法相反:请告诉我们工艺所需的折射率、粘度与固化条件,我们据此配方。

为压印线配方的材料

每个等级都按客户工艺配方,拥有专属产品代码。所有产品均可提供PFAS-free版本。
在您叠层中的功能化学体系折射率压印或涂敷固化
压印树脂,低到中折射率100% 固含量 UV, 无溶剂1.34 – 1.65压印UV
压印树脂,高折射率溶剂型 UV 抗蚀剂633 nm 处 1.79(已发表)压印UV
高折射率树脂与涂层溶剂型 UV,同一系列最高 1.95涂敷层;可用于压印评估UV
低折射率包覆与缝隙填充UV 混合1.30 – 1.40涂敷层UV
超低折射率层含空心二氧化硅溶胶-凝胶80°C 固化时 1.21;高温固化时 1.16涂敷层热固化
减反顶涂多层R < 0.15 %涂敷层UV 或热

无溶剂(100% 固含量)树脂目前达n 1.65;更高折射率正在开发中。n 1.79以上,溶剂型等级作为涂层或您线上的压印评估材料供应。

贴合您的工艺

我们不要求您改线。请告诉我们工艺窗口,我们在其内配方。

我们会询问

  • 格式:晶圆(200 或 300 mm)、板对板、roll-to-plate 或 roll-to-roll
  • 施涂方式:旋涂、狭缝涂、凹版、丝网印刷或点胶
  • 目标粘度及层/残膜厚度
  • 模具或工作模具材质
  • 固化:灯源或 LED 波长、剂量、惰性或大气
  • 基底及其温度上限
  • 目标折射率与波长、透过率与雾度上限
  • 下游工艺耐受:焊接回流、湿热、热循环、再涂

压印试验在您的线或设备供应商演示实验室进行。我们在轮次之间调整配方。

已发表结果

压印验证:薄膜太阳能电池上的高折射率压印抗蚀剂

在同行评审研究中,Kriya 的一款高折射率抗蚀剂(633 nm 处 n 1.79)通过采用 PDMS 复制体的逐片 UV NIL 方式,被以蛾眼纹理 UV 纳米压印到 CIGS 太阳能电池上。其折射率接近透明前电极(AZO, 633 nm 处 n 1.91),界面处光损失被压制。三种吸收层厚度下,电池平均短路电流 +7.2 %,效率 +6.0 %,反射 -7.0 %。

+7.2 %
Jsc
−7.0 %
反射
+6.0 %
效率(相对)

Burghoorn 等, AIP Advances 4, 127154 (2014), doi:10.1063/1.4905456。开放获取。

同样的配方知识正用于波导光栅、晶圆级透镜与超透镜的树脂。

压印光学与我们材料的交汇

晶圆级透镜与衍射光学元件

按您透镜设计所假设折射率的压印树脂,以及同叠层的低折射率与减反层。

AR/VR 波导光栅

拓宽视场的高折射率树脂与涂层,维持光导的低折射率层。

超透镜与平面光学

上下带有高折射率涂层的压印结构。

光子封装与共封装光学

聚合物波导与光学接口用的低折射率包覆与指数匹配层。

图像传感器与 microLED

用于光取出、光收集、指数匹配的折射率设计层。

光伏光管理

降低前表面反射的纹理化高折射率层。

在索样前先算一下

我们的计算器基于已发表的物理。先看演示模式,再申请接入以使用您的数值。

项目流程

  1. 01

    登记

    填写我们的项目登记表:折射率、工艺、基底、用量。

  2. 02

    评估

    我们核查基底与工艺窗口,告知可行性。

  3. 03

    配方与打样

    按工艺窗口配方,寄出线上使用的样品。

  4. 04

    报价

    样品验证后,按产品代码出具报价。

常见问题

哪些折射率可被压印?

无溶剂 UV 树脂覆盖 n 1.34–1.65,Kriya 的溶剂型高折射率抗蚀剂(n 1.79)已在同行评审论文中实现纳米压印。同系列可提供至 n 1.95 作为涂层与压印评估,低折射率层至 n 1.16 完成堆叠。

材料是否 PFAS-free?

是。本页所有材料包括低折射率等级均可提供 PFAS-free 版本。

是否有可订购的标准等级?

没有。每种材料都按您的基底与工艺配方,拥有专属产品代码。这样才能同时命中粘度、固化与折射率。

能否替我们做压印试验?

我们配方并供货。试验在您的线或装备供应商演示实验室进行,我们在轮次之间调整配方。

是否提供光刻胶或其他前道半导体化学品?

不提供。我们做光学层:压印树脂、指数匹配层、包覆层与减反涂层。

材料在哪里制造?

在荷兰,依 ISO 9001:2015。所有产品符合 REACH。

正在开发压印光学器件?

发送您的目标折射率与工艺窗口。我们将告诉您能配方到什么。

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