对给定 Kriya 树脂与目标几何的纳米压印工艺,估算固化后的形貌精度。
预测纳米压印光刻工艺的图案保真度。估算 Kriya NIL 树脂的体积与线性收缩、纵横比稳定性极限,以及可实现的最小特征宽度。包含脱模缺陷风险评估。