Stoney应力与基板翘曲
从测量的基板曲率计算薄膜等双轴应力，或预测目标应力下的晶圆翘曲。12种基板材料。
验证：当前构建中 2 / 2 个参考案例通过 9f9c03e → /validation#stoney-stress
Stoney equation (1909) 实现，包含 12 种基底力学模型（Si、玻璃、聚合物）。支持双向计算：σ → R 与 R → σ，并提供矢高计算及薄膜极限有效性校验。
从测量的基板曲率计算薄膜等双轴应力，或预测目标应力下的晶圆翘曲。12种基板材料。
验证：当前构建中 2 / 2 个参考案例通过 9f9c03e → /validation#stoney-stress
Stoney equation (1909) 实现，包含 12 种基底力学模型（Si、玻璃、聚合物）。支持双向计算：σ → R 与 R → σ，并提供矢高计算及薄膜极限有效性校验。