Stoney-Spannung & Substratverbiegung
Berechnen Sie die equibiaxiale Filmspannung aus einer gemessenen Substratkrümmung oder sagen Sie die Waferbiegung für eine Zielspannung voraus. 12 Substratmaterialien.
Validierung: 2 / 2 Referenzfälle im Build bestanden 8747d5f → /validation#stoney-stress
Implementierung der Stoney-Gleichung (1909) mit 12 mechanischen Substratmodellen (Si, Glas, Polymere). Zwei Richtungen: σ → R und R → σ. Enthält Durchbiegungsberechnung und einen Gültigkeitscheck für den Dünnschichtgrenzfall.