Stoney-Spannung & Substratverbiegung

Berechnen Sie die equibiaxiale Filmspannung aus einer gemessenen Substratkrümmung oder sagen Sie die Waferbiegung für eine Zielspannung voraus. 12 Substratmaterialien.

Stoney equation (1909) implementation with 12 substrate mechanical models (Si, glass, polymers). Two directions: σ → R and R → σ. Includes sag calculation and a thin-film-limit validity check.