Ellipsometrie-Inversion
Fit von n(λ), k(λ) und d aus spektroskopischen Ellipsometriedaten Ψ, Δ. Single- oder Multi-Angle. Cauchy + Urbach-Dispersionsmodell.
Validierung: manuell geprüftes Beispiel → /validation#ellipsometry
Cauchy + Urbach Dispersionsmodell, angepasst durch begrenzten Gradientenabstieg. Mehrwinkeldaten lösen die (n, d)-Mehrdeutigkeit von Einzelwinkelmessungen auf. Integrierter synthetischer Demo-Datensatz; CSV-Upload wird unterstützt.