Stoney-spanning & substraatkromming

Bereken de equibiaxiale filmspanning uit een gemeten substraatkromming, of voorspel de waferbuiging voor een doel-spanning. 12 substraatmaterialen.

Stoney equation (1909) implementation with 12 substrate mechanical models (Si, glass, polymers). Two directions: σ → R and R → σ. Includes sag calculation and a thin-film-limit validity check.