Stoney-spanning & substraatkromming
Bereken de equibiaxiale filmspanning uit een gemeten substraatkromming, of voorspel de waferbuiging voor een doel-spanning. 12 substraatmaterialen.
Validatie: 2 / 2 referentiecases geslaagd in de build 378ef4c → /validation#stoney-stress
Implementatie van de Stoney equation (1909) met 12 mechanische substraatmodellen (Si, glas, polymeren). Twee richtingen: σ → R en R → σ. Inclusief doorbuigingsberekening en geldigheidscontrole voor de dunnefilmlimiet.