CTE-mismatch doorbulging
Voorspel thermische-uitzettings-mismatchspanning, substraatkromming en randsdoorbuiging wanneer een coating en substraat samen worden uitgehard en afgekoeld. Markeert drempelwaarden voor lithografie / pick-and-place / handling.
Validatie: handmatig gecontroleerd voorbeeld → /validation#cte-mismatch
Timoshenko-Hoffman thermische mismatchspanning σ_f = (E_f/(1−ν_f))·(α_s−α_f)·ΔT, vervolgens Stoney-kromming en parabolische randsdoorbuiging. 13 substraatmaterialen met datasheet-CTE-waarden; 7 filmklassen (sol-gel inorganic, sol-gel hybrid, sputtered Al₂O₃/TiO₂/SiO₂, evaporated MgF₂, custom).