Stoney応力 & 基板反り
測定された基板曲率から等二軸薄膜応力を計算、または目標応力に対するウェハー反りを予測。12種類の基板材料。
検証：ビルド内の参照ケース 2 / 2 が合格しています 390e714 → /validation#stoney-stress
Stoney 方程式（1909）の実装です。12 種類の基板力学モデル（Si、ガラス、ポリマー）に対応し、σ → R および R → σ の 2 方向を提供します。サグ計算と薄膜限界の妥当性チェックも含まれます。
測定された基板曲率から等二軸薄膜応力を計算、または目標応力に対するウェハー反りを予測。12種類の基板材料。
検証：ビルド内の参照ケース 2 / 2 が合格しています 390e714 → /validation#stoney-stress
Stoney 方程式（1909）の実装です。12 種類の基板力学モデル（Si、ガラス、ポリマー）に対応し、σ → R および R → σ の 2 方向を提供します。サグ計算と薄膜限界の妥当性チェックも含まれます。