Stoney応力 & 基板反り

測定された基板曲率から等二軸薄膜応力を計算、または目標応力に対するウェハー反りを予測。12種類の基板材料。

Stoney equation (1909) implementation with 12 substrate mechanical models (Si, glass, polymers). Two directions: σ → R and R → σ. Includes sag calculation and a thin-film-limit validity check.