NIL 形状忠実度推定

指定したKriyaレジンと目標形状を用いるナノインプリントリソグラフィプロセスについて、硬化後の形状精度を推定します。

ナノインプリントリソグラフィプロセスのパターン忠実度を予測します。Kriya NILレジンの体積収縮および線収縮、アスペクト比安定限界、達成可能な最小フィーチャ幅を推定し、離型欠陥リスク評価も含みます。