Contrainte de Stoney & courbure du substrat
Calculez la contrainte équibiaxiale du film à partir d'une courbure de substrat mesurée, ou prédisez la flèche du wafer pour une contrainte cible. 12 matériaux de substrat.
Stoney equation (1909) implementation with 12 substrate mechanical models (Si, glass, polymers). Two directions: σ → R and R → σ. Includes sag calculation and a thin-film-limit validity check.