Contrainte de Stoney & courbure du substrat
Calculez la contrainte équibiaxiale du film à partir d'une courbure de substrat mesurée, ou prédisez la flèche du wafer pour une contrainte cible. 12 matériaux de substrat.
Validation : 2 / 2 cas de référence réussis dans la version 390e714 → /validation#stoney-stress
Implémentation de l'équation de Stoney (1909) avec 12 modèles mécaniques de substrat (Si, verre, polymères). Deux sens : σ → R et R → σ. Inclut le calcul de flèche et une vérification de validité en limite film mince.