Estimateur de fidélité de motif NIL

Estime la précision de motif après cuisson pour un procédé de lithographie par nano-empreinte avec une résine Kriya donnée et une géométrie cible.

Prédisez la fidélité de motif pour les procédés NIL. Estimez le retrait volumétrique et linéaire, les limites de stabilité du rapport d'aspect et les largeurs de motif minimales atteignables pour les résines NIL Kriya. Inclut une évaluation du risque de défauts au démoulage.