Déformation par désaccord de CTE
Prédisez la contrainte de désaccord de dilatation thermique, la courbure du substrat et la flèche de bord lorsqu'un revêtement et son substrat sont cuits et refroidis ensemble. Signale les seuils de lithographie, de placement et de manipulation.
Validation : exemple vérifié manuellement → /validation#cte-mismatch
Contrainte de désaccord thermique Timoshenko-Hoffman σ_f = (E_f/(1−ν_f))·(α_s−α_f)·ΔT, puis courbure de Stoney et flèche de bord parabolique. 13 matériaux de substrat avec valeurs CTE de fiche technique ; 7 classes de films (sol-gel inorganique, sol-gel hybride, Al₂O₃/TiO₂/SiO₂ sputterisé, MgF₂ évaporé, personnalisé).