Stoney應力與基板翹曲
從測量的基板曲率計算薄膜等雙軸應力，或預測目標應力下的晶圓翹曲。12種基板材料。
驗證：建置中 2 / 2 個參考案例通過 378ef4c → /validation#stoney-stress
Stoney equation (1909) 實作，內含 12 種基板力學模型（Si、玻璃、高分子）。支援兩個計算方向：σ → R 與 R → σ，並包含垂曲度計算及薄膜極限有效性檢查。
從測量的基板曲率計算薄膜等雙軸應力，或預測目標應力下的晶圓翹曲。12種基板材料。
驗證：建置中 2 / 2 個參考案例通過 378ef4c → /validation#stoney-stress
Stoney equation (1909) 實作，內含 12 種基板力學模型（Si、玻璃、高分子）。支援兩個計算方向：σ → R 與 R → σ，並包含垂曲度計算及薄膜極限有效性檢查。