Stoney 응력 & 기판 휨
측정된 기판 곡률에서 등이축 박막 응력을 계산하거나, 목표 응력에 대한 웨이퍼 휨을 예측합니다. 12개의 기판 재료.
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Stoney equation (1909) 구현으로, 12가지 기판 역학 모델(Si, 유리, 폴리머)을 지원합니다. σ → R 및 R → σ의 두 방향을 제공하며, 새그(sag) 계산과 박막 한계 유효성 검사가 포함되어 있습니다.