Stoney 응력 & 기판 휨

측정된 기판 곡률에서 등이축 박막 응력을 계산하거나, 목표 응력에 대한 웨이퍼 휨을 예측합니다. 12개의 기판 재료.

Stoney equation (1909) implementation with 12 substrate mechanical models (Si, glass, polymers). Two directions: σ → R and R → σ. Includes sag calculation and a thin-film-limit validity check.