NIL 형상 충실도 추정기
주어진 Kriya 레진과 목표 형상으로 수행하는 나노임프린트 리소그래피 공정에 대해 경화 후 형상 정확도를 추정합니다.
나노임프린트 리소그래피 공정의 패턴 충실도를 예측합니다. Kriya NIL 레진의 체적 및 선형 수축, 종횡비 안정성 한계, 달성 가능한 최소 형상 폭을 추정하고, 이형 결함 위험 평가를 포함합니다.
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