CTE 불일치 휨 변형
코팅과 기판을 함께 경화·냉각할 때 발생하는 열팽창 불일치 응력, 기판 곡률, 엣지 새그를 예측합니다. 리소그래피·픽앤플레이스·핸들링 임계값에 대한 경고를 제공합니다.
Validation: 수동 검토된 예시 → /validation#cte-mismatch
Timoshenko-Hoffman thermal mismatch stress σ_f = (E_f/(1−ν_f))·(α_s−α_f)·ΔT, then Stoney curvature and parabolic edge sag. 13 substrate materials with datasheet CTE values; 7 film classes (sol-gel inorganic, sol-gel hybrid, sputtered Al₂O₃/TiO₂/SiO₂, evaporated MgF₂, custom).