Tensión de Stoney & alabeo del sustrato
Calcule la tensión equibiaxial de la película a partir de una curvatura medida del sustrato, o prediga el alabeo del wafer para una tensión objetivo. 12 materiales de sustrato.
Validación: 2 / 2 casos de referencia aprobados en la compilación 390e714 → /validation#stoney-stress
Implementación de la ecuación de Stoney (1909) con 12 modelos mecánicos de sustrato (Si, vidrio, polímeros). Dos direcciones: σ → R y R → σ. Incluye cálculo de flecha y verificación del límite de película delgada.