Tensión de Stoney & alabeo del sustrato

Calcule la tensión equibiaxial de la película a partir de una curvatura medida del sustrato, o prediga el alabeo del wafer para una tensión objetivo. 12 materiales de sustrato.

Stoney equation (1909) implementation with 12 substrate mechanical models (Si, glass, polymers). Two directions: σ → R and R → σ. Includes sag calculation and a thin-film-limit validity check.