Estimador de fidelidad de característica NIL

Estima la precisión post-curado de la característica para un proceso de litografía por nanoimpresión con una resina Kriya y geometría objetivo dadas.

Prediga la fidelidad de patrón para procesos de litografía por nanoimpresión. Estime la contracción volumétrica y lineal, los límites de estabilidad de relación de aspecto y los anchos de característica mínimos alcanzables para resinas NIL Kriya. Incluye evaluación del riesgo de defectos de desmoldeo.