מעריך נאמנות תכונה של NIL

הערך דיוק תכונה לאחר ייבוש עבור תהליך ליתוגרפיית ננו-הטבעה עם שרף Kriya נתון וגיאומטריית יעד.

חזה נאמנות דוגמה לתהליכי ליתוגרפיית ננו-הטבעה. הערך כיווץ נפחי וליניארי, גבולות יציבות יחס גובה-רוחב ורוחבי תכונה מינימליים בני-השגה עבור שרפי NIL של Kriya. כולל הערכת סיכון פגם בהוצאה.