עיוות אי-התאמת CTE
חיזוי מאמץ אי-התאמת התפשטות תרמית, עקמומיות מצע וסאג קצה כאשר ציפוי ומצעו מאוחים ומקוררים יחד. מסמן סף ליתוגרפיה / הרמה-והנחה / טיפול.
אימות: דוגמה שנבדקה ידנית → /validation#cte-mismatch
מאמץ אי-התאמה תרמית לפי Timoshenko-Hoffman: σ_f = (E_f/(1−ν_f))·(α_s−α_f)·ΔT, ולאחר מכן עקמומיות Stoney וסאג קצה פרבולי. 13 חומרי מצע עם ערכי CTE מגיליון נתונים; 7 קבוצות סרט (sol-gel אנאורגני, sol-gel היברידי, sputtered Al₂O₃/TiO₂/SiO₂, evaporated MgF₂, מותאם אישית).